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氧化世界杯投注平台

型号:可订制

规格:可订制

产品简介: 应用于对硅片的扩散、氧化、退火、合金等工艺领域

产品详情

(世界杯哪里开户)世界杯投注平台是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。

其组成有:加热炉(世界杯投注平台主机)、超净化操作系统、气源系统、控制系统等。选用工控机微控方式或者程控方式操作。

微控世界杯投注平台技术指标:

1、具有可编程的升降温功能

2、采用滤波器、屏蔽板等装置,有效解决电网、磁场的干扰

3、Windows全中文视窗操作系统,可存储1000条曲线,每条曲线设置30步

4、自动运行中可暂停/继续运行功能

5、智能升降温斜率控制功能

6、PID参数自整定功能,可存储多组PID参数供系统运行调用

7、系统故障的检测与报警功能、系统误差修正

8、具有停电后断点继续运行功能

9、工艺方式:干法氧化、湿法氧化、水汽氧化


点击数:736 录入时间:2015-12-02 08:28:42【打印此页】【返回