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太阳能世界杯投注平台

型号:可订制

规格:

产品简介: 应用于光伏电池中硅片的扩散工艺

产品详情

(世界杯哪里开户)太阳能世界杯投注平台主要满足光伏电池生产线对125mm*125mm、156mm*156mm、多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散路和第三代软着陆世界杯投注平台

其组成有:加热炉(世界杯投注平台主机)、超净化操作系统、气源系统、控制系统等。选用工控机微控方式或者程控方式操作。

微控世界杯投注平台技术指标:

1、可处理硅片尺寸:125mm*125mm  156mm*156mm

2、外形形式:卧式1~4管结构

3、工作温度:200℃~1300℃

4、恒温区长度及精度:200mm~1100mm

5、单点温度稳定性、重复性:<=1℃/24h

6、载片量:400片/管

7、扩散方式:闭管扩散、软着陆全封闭

8、气路系统:1——5路工艺气体/管

9、气体控制:全自动MFC

10、控制方式:工控机、触摸屏

11、温度控制:5段控温

12、总功率:120KVA

13、送片装置:悬臂推拉舟、碳化硅桨最大载重17kg

14、Thinnerwafers:180Um    Break  rate:0.8%

15、方阻均匀度范围:片内5%,片间5%,批间5%


点击数:803 录入时间:2015-12-02 08:28:23【打印此页】【返回