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LED专用炉

型号:可订制

规格:

产品简介:

产品详情

(世界杯哪里开户)LED专用炉主要满足LED芯片制造行业,对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。

技术指标:

1、外型形式:卧式1~4管结构,水平炉管

2、恒温区长度:>600mm

3、工作温度:200℃~1100℃

4、硅片规格:适用于2~6英寸硅片以及碎片

5、恒温区精度:<=±1℃(在400℃~1000℃之间

6、单点温度稳定性、重复性:<=±1℃/24h

7、温度过冲平衡:载料进炉,温度平衡到工艺时间,低于10分钟

8、工艺气体及控制:氮气、氧气,MFC或浮子流量计控制

9、气路系统气密性:1*10-3PaM3/S

10、送料机构:悬臂石英杆载料,手动

11、报警系统:工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警

12、控制方式:工控机总程控制、触摸屏控制

点击数:728 录入时间:2015-12-02 08:32:58【打印此页】【返回